汞CV測試系統

產品簡介
汞CV測試系統，用于對外延或前道工藝中的non-pattemed晶片做汞C-V測試;

MCV-530L可測最大200mm的樣品。

產品型號：

更新時間：2025-04-23

廠商性質：生產廠家

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產品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

半導體材料測試

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Capability:

Epi layer characterization
-Dopant Profile-N(x)
-Resistivity Profile-p(x)
Gate metrology
-Oxide thickness-EOT
-Flatland, threshold voltage-V_FB,V_T
Effective oxide charge-Q_EFF
-Dielectric constant-k
-Interface state density-Dit
IV measurements of low-k dielectricsStepped voltage, stepped current,
.Constant current modes
-Leakage current-l_L
-V_BDfor HMET
-Field-to-breakdown-F_BD
-K_S_B, t_sb,Q_B_D, V_max

汞CV測試系統

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